Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
Е. В. Берлин, Л. А. СейдманJahr:
2014
Verlag:
Техносфера
Sprache:
russian
Seiten:
255
ISBN 13:
9785948363691
Serien:
Мир материалов и технологий
Datei:
PDF, 373.30 MB
IPFS:
,
russian, 2014